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HF无油分子泵机组

概述

用途
HF无油分子泵机组是由各性能分子泵、无油泵、通断放气阀、前级管路、断水保护器、分子泵电源、控制电源等组装而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于连接,性能可靠。可广泛应用于表面分析、加速器技术、半导体设备,等离子技术、电真空器件的制造及真空技术各领域。

应用领域
分析仪器;气相分析;电子显微镜;检漏仪等。

工作应用
显像管领域;光盘制造;镀膜行业;电子束焊接设备;ITO生产线;OLED生产线、幕墙玻璃生产线;离子刻蚀;半导体制造工业;真空炉;真空输送;照明灯生产工业;食品包装;电真空工业等。

科研领域
高能物理、表面物理、科研仪器、空间研究等真空技术领域。

主要性能参数

型号参数 HFP100/110 HFP160/620 HFP200/1200
高真空法兰 DN100LF DN100CF DN160LF DN150CF DN200LF DN200CF
抽气速率(L/S) 110 450 1200
压缩比(N2) <10 <10 <10
压缩比(H2) 5*10 10 6*10
极限压强(Pa) 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5
输入电压频率(V/HZ) 380±20/50±1 380±20/50±1 380±20/50±1
冷却水压力(Kg.cm) 0.5-1 0.5-1 0.5-1
前级泵型号 HF-8 HF-15 HF-30
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